东洋碳素投资扩建SiC和Tac涂层石墨产能

慧正资讯，高性能涂层产品供应商日本东洋碳素株式会社（TOYO TANSO）在2月16日宣布，将投资约70亿日元增加碳化硅（SiC）和碳化钽（Tac）涂层石墨产品的产能，以满足客户需求。据官网公告显示，此次投资与2023年相比较，将使SiC涂层产能提高近3倍，TaC涂层产能提高近6倍，运行周期预计在2025年至2026年。

实际上，早在2023年4月，东洋碳素就宣布进行资本投资增加TaC涂层石墨产品的产能。据悉，东洋碳素计划在日本大野原生产技术中心扩建TaC涂层石墨产品的生产设施，将生产能力提升至目前水平的一倍以上，投产时间预计为2025年。

SiC涂层及TaC涂层主要用于半导体产业的诸多生产环节。SiC涂层石墨盘是目前单晶硅外延生长用和氮化镓（GaN）外延生长用最好的基座之一，是外延炉的核心部件。TaC涂层石墨比裸石墨或SiC涂层石墨具有更好的耐化学腐蚀性能，可在2600℃高温下稳定使用，与众多金属元素不反应，是第三代半导体单晶生长和晶圆刻蚀场景中性能最好的涂层，采用TaC涂层能够解决晶体边缘缺陷问题，提高晶体生长质量，是“长快、长厚、长大”的核心技术方向之一。    

半导体涂层材料是各类芯片上道工艺的关键耗材，随着半导体产业的发展，市场需求增大，SiC涂层和TaC涂层石墨产品将得到进一步发展。2022年全球TaC涂层市场规模大约为884.3百万美元，预计2029年达到1208.6百万美元，2023-2029期间年复合增长率（CAGR）为4.6%。

目前TaC涂层处理方案分为两种：1.石墨器件+TaC涂层加工；2.单独处理涂层(加工)。由于该涂层是通过CVD沉积、PVD/烧结的方法在石墨器件上形成的一种“保护层”。

根据慧正资讯的了解，TaC涂层核心厂商包括迈图和东海碳素株式会社等，前两大厂商占有全球超过98%的份额。美国是全球最大的石墨碳化钽涂层生产地区，占有超过95%的市场份额，之后是日本。按产品类型拆分，化学气相沉积 (CVD)是最大的细分市场，市场份额超过80%，最大的应用市场是SiC单晶生长。